方案概述
針對半導體芯片制造、TFT-LCD制造、電子元件制造、印制電路板制造、電子終端產品制造等工藝中產生的各類廢氣,AG8旗舰厅深入研究并為其提供定制化的廢氣治理解決方案。這些廢氣主要源于生產過程中的多個工序,如薄膜沉積、光刻、刻蝕、清洗和涂覆等,包括CVD廢氣(含硅烷、氫氣、氨氣、含氟含磷廢氣等)、剝離液廢氣等在內的特氣、酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣等。針對泛半導體行業廢氣排放特點,AG8旗舰厅深入研發,為泛半導體行業提供高效、可靠的廢氣治理方案。
方案內容
方案特點
專用預處理
保證系統高效、穩定運行
組合工藝設計
處理復雜成分及大風量廢氣
自動化程度高
投資、運行經濟性良好
運行穩定
負壓布置,廢氣處理達標排放
安全可靠
多重安全聯動+防爆設計
核心產品
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